日期:2011-11-23 09:36
分析50
32确定晶体结构的方法57
321X射线衍射57
322电子束衍射59
33电镀的基本概念60
331电极电解液界面64
332极化和过电位67
333阴极金属沉积的机制68
34微系统技术的材料75
341用于微型机构成型的材料77
342用作传感器的材料80
343用于执行机构的材料84
344用于辅助应用的材料96
第4章MEMS主要技术101
41真空技术的基本原理101
411平均自由轨迹102
412单层时间104
413原子和分子的速度105
414气体动力学107
415技术真空的分类107
42真空的生成