日期:2011-11-23 09:36
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421用于粗真空和细真空的泵109
422高真空泵和超高真空泵111
43真空测量116
431压力转换计116
432导热性真空计117
433摩擦型真空计117
434热电子电离真空计118
435冷阴极电离计（彭宁原理）118
436泄漏和裂缝探测119
44薄膜特性120
441结构区域模型120
442层的黏结强度123
45物理和化学覆层技术124
451蒸发124
452溅射法126
453离子电镀或等离子加速沉积130
454离子束技术131
455CVD过程134
456外延136
457等离子聚合作用138
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