日期:2011-11-23 09:36
8氧化作用138
46利用干蚀刻过程完成薄膜构造141
461物理蚀刻技术144
462物理化学联合蚀刻技术147
463化学蚀刻技术152
47薄膜和表面分析153
471电子探针微分析154
472俄歇电子光谱法(AES)155
473X射线光电子光谱法（XPS）157
474次级离子质谱法（SIMS）157
475次级中性粒子质谱法（SNMS）158
476离子散射光谱法（ISS）158
477卢瑟福反向散射光谱法（RBS）158
478扫描隧道显微镜法159
第5章光刻160
51综述与发展历史160
52抗蚀剂161
53光刻过程164
54计算机辅助