日期:2011-11-23 09:36
5化学微传感器267
646处理电信号的微加工装置272
65总结与展望273
第7章LIGA加工工艺275
71概述275
72掩模生产277
721掩模的构造原理277
722金属载体薄片的生产279
723X射线中间掩模抗蚀剂的构造281
724X射线掩模镀金284
725工艺掩模的生产285
726X射线工艺掩模中的调整窗286
73X射线光刻287
731厚抗蚀剂层的生产287
732光诱导反应与抗蚀剂曝光289
733对吸收辐射量的要求292
734影响结构品质的因素296
74电流沉积301
741为生产微结构而进行的镍的电沉积30