日期:2011-11-23 09:36
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742型芯的制造307
743其他金属与合金的电镀沉积308
75LIGA工艺中的塑料成型310
751使用反应注射成型方法的微结构生产311
752使用注射成型方法的微结构生产314
753使用热模压印方法的微结构生产320
754由已经塑造好的塑料结构生产金属微结构（二次电镀）322
76LIGA技术的变化和附加步骤327
761牺牲层技术327
762三维结构330
763利用成型方法的光导结构的生产333
77应用举例335
771刚性金属微结构335
772运动微结构、微传感器、微执行元件338
773流控微结构351
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