可选的插页提供衬底和薄膜层保护整个制造过程。
空气和过渡室被独立，在沉积面积允许快速辊变化没有暴露大气暴露到过程。Orion系列达到无与伦比的正常运行时间,实现完整的辊变化在不到3个小时。
几个配置可供优化过程基于温度、沉积方法、源尺寸和取向。
精密温度控制滚筒90英寸的直径
●1%或1℃温度控制在滚筒表面
●-100℃到+ 300℃温度配置
●网络速度选项
0.1 - 5米/分钟(+ / - X %的速度精度)
1.0 - 15米/分钟(+ / - X %的速度精度)
10 - 50米/分钟(+ / - X %的速度精度)
注入沉积