美国野马真空电磁屏蔽多功能镀膜设备
业PC接口
　　工业系统设计符合人体工程学的证明维护和确保运行正常
　　高正常运行时间的解决方案，利用一级零部件供应商与全球支持
　　单或双门设计与集成的工具来最大化的生产能力
　　规格
　　●双层不锈钢水夹套真空室设计。
　　●快速装卸屏蔽罩和行星转台的设计。
　　●行星旋转衬底转台分成三层。
　　●多个屏蔽辐射元素为衬底加热与热电偶反馈提供允许温度监测与控制基板的温度最大的高达600C。
　　●2 x直流和交流线性辉光放电阵列,用于等离子体预处理、离子辅助沉积或PACVD面涂层。
　　●灵活的单(1)到6(6)单

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