储在主机电脑。网络/调制解调器进行远程访问实时诊断运行或过程监控。
●多个质量流量控制器(通常是Ar、N2 CxHy,O2和备用)工作活性气体输送和净化控制。
●干燥剂排气作为标准。
●标准溅射弧电源(额外的制造商和配置要求):
●直流电源- 5-30KW甚至高达180千瓦大功率电源
●脉冲直流电源- 5-30KW
●AC /中频功率- 5 - 150千瓦
●射频功率- 5-15KW
●HIPIMS(高功率脉冲磁控溅射)力量40千瓦(高功率峰值高达8 mw)
●引导弧- 80 a,120或200一个
标准泵的配置和选择:
●1 x爱德华兹GXS