美国野马真空电磁屏蔽多功能镀膜设备 - 产品中心

美国野马真空电磁屏蔽多功能镀膜设备
250/2600粗罗茨泵方案。
　　●2 x爱德华兹STP-iXA 2206 5轴,磁悬浮,涡轮分子泵。
　　可选的:
　　●Leybold SV 630或1200机械水泵WH4400 SV与罗茨泵。
　　●WH4400 Leybold双干泵与罗茨泵
　　●20英寸的瓦里安扩散泵
　　●MaxCool 4000 Polycold
　　●其它要求
　　●生产自动化选项:
　　●单室门、手动操作。
　　●双室门、手动操作。
　　●简单加载/卸载行星旋转唱盘携带手推车。
　　●单或2位置完全自动转盘可以水平或垂直地提出根据夹具。