日期:2011-11-23 09:36
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153 试样引入与前处理系统的微型化和集成化6
154 微流控芯片的规模集成化7
155 专用型微流控分析仪器的发展7
156 微流控分析的重点应用领域7
参考文献8
第2章 微加工技术基础9
21 概述9
22 材料9
221 硅9
222 石英和玻璃10
223 硬质高分子聚合物10
224 弹性聚合物11
225 光敏聚合物11
226 其他材料12
23 光刻12
231 掩膜制备12
232 光刻胶12
233 曝光及显影15
234 刻蚀17
235 高分辨刻蚀19
24 聚合物芯片加工19
241 原位成型法20
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