日期:2011-11-23 09:36
51动态法合成产物的颗粒尺寸与结构特征132
452动态法合成产物的化学特性与相变形式136
参考文献138
第5章化学气相沉积法合成金刚石膜139
51金刚石薄膜的发展概况及特性139
511金刚石薄膜的发展概况139
512金刚石薄膜的特性及应用141
52CVD金刚石生长基本原理和工艺过程149
521CVD金刚石生长基本原理149
522CVD金刚石生长工艺过程151
523非金刚石衬底过渡层存在的机理153
53CVD金刚石薄膜的合成方法和技术特点156
531热丝CVD法（HFCVD）157
532微波等离子体法（MPCVD）159
533等