日期:2011-11-23 09:36
离子体喷射法161
534其他CVD方法162
参考文献164
第6章静态高温高压催化剂法合成CBN166
61基本原理167
611六方氮化硼与立方氮化硼平衡曲线167
612六方氮化硼与立方氮化硼结构转变171
62原料要求和处理方法176
621六方氮化硼的制备176
622催化剂179
623传压密封介质181
63设备与工装183
64CBN合成工艺、提纯及检测184
641工艺流程185
642立方氮化硼的提纯186
643立方氮化硼的检测188
参考文献188
第7章立方氮化硼薄膜性质及制备技术190
71立方氮化硼薄膜的理论研究191
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