日期:2011-11-23 09:36
【作者】[法]埃尔温斯波克(Elwenspoek,M),[捷]扬森(Jansen,H)著
【出版单位】化学工业出版社
【出版日期】2007-5-1
【定价】￥58 元
【图书简介】
英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微系统加工工艺方面的专著，作者MElwenspoek和HJansen等人从事过多年微系统加工工艺方面的研究工作，具有非常丰富的研究经验。本书的主要内容包括：（1）硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述；（2）硅的表面微机械加工技术；（3）LIGA工艺；（4）硅硅直接键合工艺；（5）硅的干法腐蚀工艺及物理机制等，涵