日期:2011-11-23 09:36
盖了微机械系统加工工艺中的主要内容，而且其内容经过多次修订，并在法国和英国等大学试用。本书基本概念清楚，具有一定参考价值，适合MEMS领域工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和使用。
【图书目录】
1简介1
参考文献4
2各向异性湿法腐蚀5
21简介5
22单晶硅的机械特性6
23硅的晶体特性8
24腐蚀过程10
25实验方法13
26各向异性腐蚀剂的特性19
27〈100〉和〈110〉晶向硅片的微机械加工26
28腐蚀自停止机理31
29掩模材料41
210边角补偿43
211其他50
参考文献52
3湿法化学腐蚀的化学