日期:2011-11-23 09:36
物理机制55
31简介55
32晶体知识回顾：表面的原子结构57
33表面自由能和阶梯自由能60
34热动力学61
35动力学66
36腐蚀速率图71
37阶梯状的直接显示77
38总结79
参考文献80
4硅片键合83
41简介83
42硅熔融键合（SFB）83
43阳极键合92
44低温键合99
参考文献101
5实例和应用103
51简介103
52薄膜103
53梁115
参考文献123
6表面微机械加工126
61简介126
62表面微机械处理中的基本制造工艺126
63应用133
参考文献146
7硅的各向同性湿法化学腐蚀149
71腐蚀液和腐蚀速率图149