日期:2011-11-23 09:36
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72扩散和搅拌150
73掩模材料151
74阳极HF腐蚀151
参考文献158
8微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术简介159
81微机械加工技术159
82等离子体160
83刻蚀163
84概况164
参考文献165
9为何采用等离子体刻蚀166
91气体刻蚀167
92湿法刻蚀167
93干法刻蚀168
参考文献171
10什么是等离子刻蚀172
101等离子刻蚀基本原理175
102物理模型177
103化学模型196
104等效电路228
参考文献231
11等离子体系统配置232
111化学性质233
112频率233
113电极排列234
114负载容量和工艺234
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