日期:2011-11-23 09:36
15等离子和样品的距离235
116工作压强239
117刻蚀种类240
参考文献242
12接触式等离子体刻蚀243
121IBARE中的刻蚀定向性243
122纯的等离子化学剂245
123混合等离子化学剂247
124多步等离子化学剂250
125等离子体参数/效应251
126掩模材料/影响254
127存在的问题和解决方法258
128数据获取260
129终点检测和等离子诊断267
1210发展趋势268
参考文献271
13远程等离子体刻蚀273
131真空刻蚀综述273
132刻蚀设备275
133热辅助离子束刻蚀综述276
134刻蚀机理276
135毛刺280
136实