日期:2011-11-23 09:36
验282
137结果及应用284
参考文献286
14高深宽比沟槽刻蚀288
141定性分析289
142设备和实验294
143HARTs295
144RIE滞后的定量分析301
145结论329
参考文献332
15微型结构的铸模334
151干法刻蚀334
152电镀335
153铸模336
154用光刻胶做掩模版的干法刻蚀337
参考文献338
16可动的微结构的制造339
161SCREAM339
162SIMPLE340
163BSMORMS341
参考文献344
关键词英汉对照345