日期:2011-11-23 09:36
19681 联系人：周小姐
【图书目录】
第一章 真空技术基础
第一节 真空的基本知识
一、表示真空程度的单位
二、真空区域的划分
三、固体对气体的吸附及气体的脱阳
第二节 真空的获得
一、旋片式机械真空泵
二、复合分子泵
三、低温泵
第三节 真空的测量
一、电阻真空计
二、热偶真空计
三、电离真空计
参考文献
第二章 薄膜制备的化学方法
第一节 热氧化生长
第二节 化学气相沉积
一、一般化学气相沉积反应
二、化学气相沉积制备薄膜的传统方法
三、激光化学气相沉积
四、光化学气相沉积
五、等离子体增强化学气