日期:2011-11-23 09:36
参考文献
第四章 薄膜的形成与生长
第一节 形核
一、凝聚过程
二、Langmuir-Frenkel凝聚理论
三、成核理论
四、实验结果
第二节 生长过程
一、一般描述
二、类液体合并
三、沉积参数的影响
第三节 薄膜的生长模式
第四节 远离平衡态薄膜生长
一、粗糙表面的结构和生长
二、简单模型
三、薄膜生长模型的实验研究
参考文献
第五章 薄膜表征
第一节 薄膜厚度控制及测量
一、沉积率和厚度监测仪
二、膜厚度测量
第二节 组分表征
一、卢瑟福背散射(RBS)
二、二次离子质谱仪(SIMS)
三、X射线光电子能谱(XPS)
四、俄歇电