日期:2011-11-23 09:36
90
421物理气相沉积概述90
422真空蒸镀92
423溅射镀膜97
424离子镀膜102
425物理气相沉积实例110
43化学气相沉积111
431化学气相沉积的原理111
432化学气相沉积的设备及工艺过程113
433化学气相沉积层的组织结构及影响镀层质量的因素114
434化学气相沉积的特点及分类116
435等离子体化学气相沉积117
436激光化学气相沉积119
437金属有机化合物化学气相沉积和低压化学气相沉积121
438化学气相沉积实例121
参考文献124
第5章电镀与化学镀126
51电镀126
511概