日期:2011-11-23 09:36
学防护技术
第11章缓蚀剂234
111概述234
1111缓蚀剂的定义234
1112缓蚀剂分子的结构特征234
1113缓蚀剂的技术特性235
112缓蚀剂的分类236
1121按化学成分分类236
1122按作用机理分类236
1123按缓蚀剂所形成的保护膜特征分类236
1124按物理状态分类237
1125按用途分类238
113缓蚀剂的作用机理238
1131缓蚀剂的电化学机理238
1132缓蚀剂的物理化学机理240
1133缓蚀剂的协同作用243
114缓蚀作用的影响因素244
1141介质流速的影响244
1142温度的影响244
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