日期:2011-11-23 09:36
节溅射镀膜159
一、溅射镀膜原理159
二、溅射镀膜工艺162
三、磁控溅射镀膜164
第四节离子镀膜165
一、离子镀膜原理166
二、离子镀膜工艺166
三、反应离子镀167
四、空心阴极放电离子镀169
五、多弧离子镀171
第五节化学气相沉积172
一、化学气相沉积原理172
二、化学气相沉积工艺173
第六节分子束外延177
一、分子束外延的特点177
二、分子束外延工艺178
三、分子束外延技术的发展179
第八章复合表面处理技术和高分子表面金属化技术180
第一节复合表面处理新技术180
一、复合表面扩渗180
二、