日期:2011-11-23 09:36
加工208
六、电火花加工209
七、电铸加工210
八、光刻加工211
第二节微电子微细加工技术214
一、微细加工技术对微电子技术发展的重大影响214
二、微电子微细加工技术的分类和内容215
第十章表面分析和性能测试219
第一节表面分析219
一、表面形貌和显微组织结构分析219
二、表面成分分析219
三、表面原子排列结构分析220
四、表面原子动态和受激态分析221
五、表面的电子结构分析221
第二节表面分析仪器和测试技术简介222
一、电子显微镜(TEM)222
二、扫描隧道显微镜(STM)224
三、原子力显微镜(AFM)2