日期:2011-11-23 09:36
渗硅、渗硫135
二、共渗与复合渗137
三、等离子体表面扩渗140
四、电加热表面扩渗142
五、电解表面扩渗142
第五节离子注入142
一、离子注入原理143
二、离子注入表面改性的机理146
三、离子注入表面改性的应用147
第六节其他表面改性技术148
一、表面形变强化148
二、表面热处理150
第七章气相沉积技术152
第一节薄膜及其制备方法152
一、薄膜的定义与类型152
二、薄膜的应用153
三、薄膜的制备方法154
第二节真空蒸镀154
一、真空蒸镀原理154
二、真空蒸镀设备155
三、真空蒸镀工艺155
第三