日期:2011-11-23 09:36
【图书目录】
1硅材料及硅化合物化学性质1
11硅的化学性质1
12硅化合物的化学性质3
13超净高纯试剂21
14半导体工业用化学品26
15电子工业用光刻胶、涂料和黏合剂30
2超大规模集成电路衬底加工38
21硅单晶的加工成形技术38
22超大规模集成电路硅衬底的抛光54
参考文献65
3微电子技术中的环境净化67
31厂房的洁净技术基础67
32高纯气体制备机理75
33超净高纯试剂纯化机理105
4洗净工程中净化水的制备机理109
41天然水中的杂质109
42超纯水112
43离子交换树脂116
44电渗析法制备纯水的原理121
45反渗透法制