日期:2011-11-23 09:36
备纯水的原理125
46反渗透膜的技术现状131
47反渗透膜的污染与清洗135
48反渗透膜生物污染与防治138
5净洗技术工程148
51概述148
52晶片清洗的基本理论及方法151
53颗粒吸附状态分析及优先吸附模型154
54表面活性剂157
55硅片清洗的常用方法与技术160
56清洗设备的结构168
57溶液清洗技术的研究现状169
58新型兆声清洗172
参考文献173
6键合技术工程175
61键合的基本原理及基本要求175
62几种主要的键合方法176
63键合晶片的表征测试方法177
64键合技术在微电子学中的应用178
65键合技术的应用189
参考文