日期:2011-11-23 09:36
献205
7微机械加工技术工程206
71各向异性腐蚀209
72各向同性腐蚀238
73阳极腐蚀245
74电钝化腐蚀250
75表面微机械加工技术260
76干法腐蚀269
77LIGA技术工艺及推广277
参考文献283
8微电子器件氧化技术工程285
81二氧化硅的结构286
82二氧化硅的性质287
83二氧化硅膜的制备及其原理290
84二氧化硅硅界面的物理性质307
85二氧化硅玻璃中的杂质308
86杂质在二氧化硅中的扩散312
87二氧化硅膜质量的检验316
9蚀刻技术321
91简介321
92蚀刻技术中的术语321
93湿式蚀刻322
94干式蚀刻324
参考文献329
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