日期:2011-11-23 09:37
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一、 黏液膜理论43
二、 钝化膜理论45
三、 双层膜理论46
第四节铜在低硝酸抛光液中化学抛光的定量研究46
一、 抛光液组分浓度对抛光效果的影响47
二、 抛光工艺参数对抛光效果的影响49
三、 抛光效果50
四、 结论50
第五节铜在低硝酸抛光液中化学抛光机理的研究51
一、 铜在不同硝酸浓度下抛光时的光反射率-时间曲线51
二、 铜在不同硝酸浓度下抛光时的失重-时间曲线52
三、 铜在化学抛光的不同阶段的表面扫描电镜分析53
四、 铜在不同硝酸浓度下抛光时的电位-时间曲线53
五、 铜在不同硝酸浓度下抛光时