直流磁控电源 脉冲磁控电源 偏压电源 中频电源 离子源

1、可提供恒流,恒压,恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能,具有极佳的负载匹配能力。
3、具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
4,工艺重复性好。
5、提高成膜速度,实现高质量的溅射膜层。
6、可N+1并联,实现大功率输出,方便维护,可靠性高。
7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能,方便与工控电脑计算机无误差传输,实现全自动控制。
8、具有多级输出功能,可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
经过公司专业人员长期以来的技术开发和试验,针对着镀膜工艺、自主研发出一种
2/4 下一页 上一页 首页 尾页
返回 |  刷新 |  WAP首页 |  网页版  | 登录
09/29 00:22