对象（17M.CM）
最新工艺
预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5m精密过滤器－用水对象（15M.CM）(最新工艺)
预处理系统－反渗透系统－中间水箱－纯水泵－粗混合床－精混合床－紫外线杀菌器－精密过滤器－用水对象 （15M.CM）(传统工艺)
标准参考
显像管、液晶显示器用纯水水质（经验数据）
集成电路用纯水水质
国家电子级纯水标准
设备特点
为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工