试需求
0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求
高精度移动平台可精确定位测试点，重复定位精度小于0.005mm
采用高度定位激光，可自动定位测试高度
定位激光确定定位光斑，确保测试点与光斑对齐
鼠标可控制移动平台，鼠标点击的位置就是被测点
高分辨率探头使分析结果更加精准
良好的射线屏蔽作用
测试口高度敏感性传感器保护
技术指标
型号：Thick 800A
元素分析范围从硫(S)到铀（U）。
同时可以分析30种以上元素，五层镀层。
分析检出限可达2ppm，最薄可测试0.005m。
分析含量一般为ppm到99.9% 。
镀层厚度一般在50m