多弧真空离子镀膜机

真空室结构
立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统


真空系统
旋片泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统）


加热系统
常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热


充气系统
质量流量控制仪（1-4路）


极限真空
610－4pa（空载、净室）

09/29 12:30