PVD镀膜设备 手机保护膜镀膜设备 磁控溅射镀膜机
制仪（1-4路）


极限真空
610－4pa（空载、净室）


抽气时间
空载大气抽至510－3pa小于15分钟


工件旋转方式
6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速


控制方式
手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC


备注
真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做






特征描述
主机控制

07/02 20:33