：3.5A
SDD半导体探测器：
探测器输入电压：12V，+5V
探头窗口面积：25mm 2
探头窗口厚度：0.5mil
分辨率：1405eV
探头内制冷温度：-40℃
自动对焦系统：
通用数字激光传感器、CMOS激光传感器
实现样品高度的自动对焦。
MCA多道分析器：
输入电压：12V，+5V
采样频率：100 KHZ
脉冲幅度：0-7.6V
A/D位数：12位
分析道数：2048道
准直器系统：
准直器：0.1 mm(可根据要求选配)
滤光片：Mo(可根据要求选配)
高清晰摄像头：
传感器类型：CCD（彩色）
接口：USB2.0
传感器厂商：索尼
快门类型