子级超纯水设备，18兆欧超纯水设备，纯化水设备。
四、电子工业超纯水设备应用技术
在工艺设计上，自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混合床等。
1、介质过滤器主要作用是去除原水中的悬浮物质及机械杂质设备由优质不锈钢材料制作而成。体内装有布水帽、精制石英砂等。合理的石英砂装填比例及良好的布水系统，使系统的产水水质更加稳定。另外设备还设有气体冲刷功能，能最大限度地清除介质上及床层中的污垢，提高出水水质和延长工作周期。
2、活性炭过滤器具