水点。
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器中间水箱反渗透设备混床(复床)超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点。
3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器中间水箱反渗透设备电去离子(EDI)超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点。
六、电子工业用超纯水