层厚度：一般在50m以内（每种材料有所不同）重复性：可达0.1%
稳定性：可达0.1%
SDD探测器：分辨率低至135eV
采用先进的微孔准直技术，最小孔径达0.1mm，最小光斑达0.1mm
样品观察：配备全景和局部两个工业高清摄像头
准直器：0.30.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与
Ф0.3mm四种准直器组合
仪器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
样品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
样品台尺寸：393(W)x 258 (D）mm
X/Y/Z平台移动速度：额定速度200mm/s 最高速度333.3mm/s
X/Y/Z平台重复定位精度 ：小于0.1um
操作环境湿度：90%
操作环