日期:2011-06-08 00:00
罗茨真空泵、油增压泵、涡轮分子泵、分子筛吸附泵、钛升华泵等；2.真空应用设备：包括各种真空冶金设备与热处理设备、真空电镀设备、真空冷冻干燥设备及真空包装设备等；3.真空镀膜设备：包括各种靶、靶材、消耗材料及各种电源；真空镀膜加工；4.纳米科技与装备、纳米材料与纳米器件；5.真空阀门及真空零部件：包括各种真空电子元器件、真空系统附件及真空动、静密封器件等；6.真空测量与校准仪器、仪表及真空检漏仪器；7.真空材料、真空泵油及真空工程配套设备；8.各种表面仪器（AES、SEM、XPS、SIMS等）及分子束外延设备（MBE）。二、【