mdivide;gamma;_divide;TR/(TF+TR)
式中:+jp、-jp分别为正、反向脉冲峰值电流
+jm、-jm分别为正、反向脉冲平均电流
gamma;+、gamma;_分别为正、反向脉冲占空比
TF、TR分别为正、反向脉冲工作时间
例如:gamma;+=20%,gamma;_=10%,TF=100ms,TR=10ms,正、反向脉冲数字表显示10和1(即+jm=10,-jm=1),则+jp和-jp计算方法如下:
+jp=10divide;20%divide;100/(100+10)=55A
-jp=1divide;10%divide;10/(100+10)=110A
6、脉冲占空比的选择
关于正向脉冲,在平均电流恒定的情况下,一般随着占空比的减小,沉积层晶粒尺寸变小,杂质(不