铁氟龙蒸汽线圈（低压力蒸汽）
温度范围136-1420F (58-610C)，力了获得连续的沉积速率，应将其准确地控制在
20F(10C)范围内。
过滤器：对于所有的塑料(CPVC，PP)，泵，管件和装置，在进行槽液转换过滤时，应使用
1微米PP滤芯。同样在进行铜和螯合剂的添加时，需要在溢流中使用10-20微米的PP袋过滤。
过滤：MID ECu901需在溢流槽中，通过溢流过滤袋进行连续过滤。在进行槽液转移时，
在将槽液转移至干净的容器之前，应使用网状的，l微米之PP滤芯过滤MID ECu溶液，以清除铜颗粒，杂质和其他悬浮物。在与溶液接触时，使用不含金属的全塑