日期:2012-04-17 09:58
1451,晶格参数a0=0.325 0 nm,c0=0.520 7nm)的衍射峰对应,表明样品均为六角纤锌矿结构,超声处理没有改变薄膜的晶体结构。
图1Zn0薄膜的X-射线衍射图谱
利用公式[5]:
计算出了样品A和B的晶格常数a和c,式中d为晶面间距,h、k和l为米勒指数。根据计算出的Zn0薄膜的晶格常数c,通过应力公式[5]:
分别计算出了薄膜A和B内部应力的大小。结果如表1所示。
表1 Zn0薄膜超声处理前后的特性参数
由表1中FOM(与标准结构匹配率的倒数,该值越小,说明与标准物质的结构越接近)数据可以看出,超声处理后样品B与标准Zn0结构的匹配性