日期:2012-04-17 09:58
力好的镀层；（6）反向脉冲有利于减薄扩散层的实际厚度，提高阴极电流效率，因此合适的脉冲参数会使镀层的沉积速率进一步加快。3.2 电流波形周期换向脉冲电流的波形一般有以下几种：3.2.1 有关断时间的单个脉冲换向一个正向脉冲之后紧接着一个反向脉冲，其波形，如图3所示。这种波形兼有脉冲和换向的优点，但缺点是调节参数时，正、反向脉冲的导通、关断时间选择与正、反向脉冲的持续时间选择发生冲突。因此，这种形式若作为槽外控制改善镀层质量的手段，其功能极不完善，在实际生产中极少应用。3.2.2 无关断时间的单个脉冲换向一个无关