添加剂对铜互连线脉冲电镀的影响
日期:2012-04-17 09:58
的扩散传递,而加大在刻槽口的吸附,达到平整化效果。氯离子的存在,可以加强其吸附和阻化作用。抑制剂的含量通常远大于加速剂和平坦剂,这样抑制剂在界面处的浓度就不依赖于它们的质量传输速率或者向表面的扩散速率。固定加速剂浓度为2ml/L,平坦剂浓度为1.5ml/L,改变抑制剂浓度。没有抑制剂时,电镀液中电位和VMS溶液的电位差不多。但是当抑制剂存在时,电势立刻增加非常大,之后电势随抑制剂浓度增加变化不明显,说明抑制剂在溶液中存在饱和效应。和加速剂的作用相反,抑制剂增加了电镀反应的电化学反应势和阴极极化,
10/15 下一页 上一页 首页 尾页
返回 |  刷新 |  WAP首页 |  网页版  | 登录
07/28 10:11