添加剂对铜互连线脉冲电镀的影响
日期:2012-04-17 09:58
对填充过程产生影响，因此除了改进加速剂、抑制剂和整平剂的各个单项性能表现外，还需要确定几种添加剂同时存在时各浓度的恰当值，使三者之间互相平衡，才能最终达到良好的综合性能，得到低电阻率、结构致密和表面粗糙度小的铜镀层。此外，采用先进的电镀方法（例如脉冲电镀），选取恰当的电镀参数也是改进铜互连线性能的一个研究方向。
注：本站部分资料需要安装PDF阅读器才能查看，如果你不能浏览文章全文，请检查你是否已安装PDF阅读器！

07/27 16:32