添加剂对铜互连线脉冲电镀的影响
日期:2012-04-17 09:58
取决于电镀液的化学成份,添加剂是其中非常关键的因素,填充性能与添加剂的成份和浓度关系很大。添加剂往往是在一起共同起作用,为实现无空洞和无缺陷电镀,除了要改进各个添加剂的单项性能,还必须在三者之间互相平衡,最终才能达到良好的综合性能[3,4,5]。目前生产添加剂的厂家有Enthone、Rohm&haas等公司。其中Enthone公司拥有较大的市场份额,En-thone公司的ViaForm系列添加剂目前应用较广泛。本文将以ViaForm添加剂为例,研究添加剂对铜镀层性能的影响。2实验使用CHI400
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