添加剂对铜互连线脉冲电镀的影响
日期:2012-04-17 09:58
dm2。加速剂通常是含有硫或是其它官能团的有机物,例如聚二硫二丙烷磺酸钠(SPS),或3-巯基丙烷磺酸(MPSA),包括硫脲及其衍生物。加速剂的作用一方面是促进Cu的成核;另一方面,优先吸附在某些活性较高、生长速度较快的晶面上,使得吸附金属原子进入这些活性点有困难,于是这些晶面的生长速度下降。这样,就有可能使各个晶面的生长速度趋于均匀,形成结构致密、定向排列整齐的晶体。固定抑制剂(S)浓度为8ml/L,平坦剂(L)浓度为1.5ml/L,改变加速剂(A)浓度。当溶液中没有加速剂时,工作电极上的电位
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