日期:2012-04-17 09:58
是最高的，随着加速剂浓度的不断增大，电势逐渐降低。这说明电镀时，加速剂会吸附在铜表面，降低电镀反应的电化学反应势和阴极极化，促进快速沉积反应。抑制剂包括聚乙二醇（ＰＥＧ）、聚丙烯二醇和聚乙二醇的共聚物，一般是长链聚合物。抑制剂的相对分子质量高（平均相对分子质量＞１０００），有效性与相对分子质量有关，扩散系数低，溶解度较小。在氯离子的共同作用下，抑制剂通过扩散－淀积在阴极表面上形成一层连续抑制电流的单层膜，通过阻碍铜离子扩散来抑制铜的继续沉积。抑制剂能够吸附在硅片的表面形成扩散层，阻化或减少平坦剂