配备了三台分子泵分别连接3个腔体，达到快速、稳定、精度高的效果。
3.1、控制方式采用动态压力平衡方式，在真空系统连续工作情况下实现控制动态平衡，控制系统根据压力设定值自动控制真空电磁阀及真空泵(含变频器)的工作，调节抽/进气量的多少而达到动态压力平衡的要求，控制效果见下图：
真空系统具备下列功能(在箱内保持洁净，且无试件的条件下)：
压力范围：一个大气压~5*10-5 Pa
极限压力：5.010-5pa(空载、常温条件下)，工作后3小时内到达。
试验压力：
1.010-4pa(带载，箱体温度80℃条件下);
抽