机组
真空传感器
安装在系统上的Pirani(皮拉尼)和MKS 974真空传感器将对系统进行测试。
将包含两个真空规管(型号：ZJ-27)和两个电离真空计(型号：ZDR-27B)的安装接口,用来测量高真空压力(小于10-3 Pa)
注:为了实现安全操作，整个真空系统将配有连锁装置。
热真空试验箱复压系统
热循环系统
非密封循环系统可排除由密封件磨损造成的所有泄露风险。此外，此配置降低了从电机到流体间的热传递。
电热交换器包含多组隔离的加热器，并用一个独立的超温安全开关进行PID控制。
热循环系统性能